基于微电子和微机械加工技术的MEMS微纳智能传感器件与传统的传感器相比，具有体积小、重量轻、可靠性高、适于批量化生产、易于集成等优点，是世界瞩目的重大科技领域之一，具有广阔的应用前景。将MEMS微纳智能传感器件阵列化并集成在柔性可延展衬底上也是实现柔性电子（柔性混合电子）的重要途径。

一、基于纳米敏感材料和MEMS先进制造技术的微纳传感器芯片工程化平台

二、悬膜式MEMS硅基微热板

悬膜式MEMS硅基微热板单芯片设计(a),单个微热板芯片图片(b)和SEM电镜图片(c),4英寸量产MEMS微热板(d),微热板技术参数(e)以及封装后的基于MEMS硅基微热板的气体传感器样品(f)