耳膜，也称为鼓膜，是一种薄的锥形膜，在感知声音和将声音从空中传播到小骨中起关键作用。在目前的麦克风行业中，声电转换通过金属膜或Si膜组成的刚性隔膜实现。虽然隔膜能够响应声音，但其刚性及脆性的材料特点会限制其在体内植入中的进一步应用。因此制造具有类似于耳膜机械性能、频响及灵敏度的柔性仿生耳膜具有重要的研究意义。

最近，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张珽研究员和他的团队研发出了一种超薄柔性电子耳膜，通过优化器件所选择的材料和微结构设计实现了对声音信号的检测。通过旋涂法控制聚二甲基硅氧烷（PDMS）在表面带有单壁碳纳米管（SWNTs）的微结构化Si模板上的厚度，再使用紫外线处理的聚乙烯（PE）膜对器件的封装，实现了超薄（50 μm）柔性电子耳膜的制备。经过15万次循环压力测试后，也可以保持对声音高信噪比（〜55 dB），快响应时间（76.9 μs）和宽频域（20-13000 Hz）的检测性能。该传感器与原始音频信号具有高度的一致性，可用于识别不同人的声音。研究成果发表在最新一期的Nano Research杂志上。